Imprint Lithography with 25-Nanometer Resolution

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标题	Imprint Lithography with 25-Nanometer Resolution 25纳米分辨率压印光刻相关领域平版印刷术纳米纳米技术分辨率（逻辑）材料科学物理光学计算机科学人工智能
网址	https://doi.org/10.1126/science.272.5258.85
DOI	10.1126/science.272.5258.85 doi
其它	期刊：Science 作者：Stephen Y. Chou; Peter R. Krauss; Preston J. Renstrom 出版日期：1996-04-05
求助人	xh 在 2024-12-11 11:11:21 发布自江苏，悬赏 10 积分
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