Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform

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标题	Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform 新型CMOS集成512x320倾斜微镜阵列及相关技术平台相关领域背板执行机构表面微加工材料科学倾斜（摄像机）铰链 CMOS芯片制作计算机科学光电子学电气工程工程类机械工程医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2543052
DOI	10.1117/12.2543052 doi
其它	期刊：作者：Andreas Gehner; Sebastian Döring; D. Rudloff; Detlef Kunze; Peter Dürr; et al 出版日期：2020-02-28
求助人	大龙在 2025-02-07 11:44:22 发布自广东，悬赏 20 积分
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