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 Gradient magnetron co-sputtered μ m-thick Al–Si films on dielectric substrates for operation in the millimeter-wave band 用于毫米波波段工作的介质衬底梯度磁控共溅射μ m厚Al-Si薄膜
相关领域
材料科学
光电子学
溅射沉积
电介质
薄膜
极高频率
腔磁控管
光学
溅射
纳米技术
物理
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| 其它 |
期刊：Applied Physics Letters 作者：Alexey A. Serdobintsev; Viktor V. Galushka; Ilya O. Kozhevnikov; Anton M. Pavlov; A. V. Starodubov 出版日期：2021-10-18 |
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