标题 |
Material evaluation for engineering a novel crucible setup for the growth of oxygen free Czochralski silicon crystals
用于生长无氧直拉硅晶体的新型坩埚的材料评价
相关领域
坩埚(大地测量学)
材料科学
硅
氮化硅
石墨
涂层
单晶硅
晶体硅
冶金
复合材料
矿物学
化学
计算化学
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其它 |
期刊:Journal of Crystal Growth 作者:F. Sturm; M. Trempa; Gordian Schuster; P. Götz; Rolf Wagner; et al 出版日期:2022-04-01 |
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