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 Directional etch of magnetic and noble metals. I. Role of surface oxidation states 磁性和贵金属的定向蚀刻。I.表面氧化态的作用
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Jack Kun-Chieh Chen; Nicholas D. Altieri; Taeseung Kim; Thorsten Lill; Meihua Shen; et al 出版日期：2017-05-26 |
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