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标题
Self-consistent simulation of a parallel-plate rf discharge
平行板射频放电的自洽模拟
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网址
https://doi.org/10.1063/1.99327
DOI
10.1063/1.99327 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Rod Boswell; I. J. Morey
出版日期：1988-01-04
求助人
67 在 2025-01-23 10:27:16 发布自浙江，悬赏 10 积分
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