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 Growth of GaN Thin Films Using Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition: Effect of Ammonia-Containing Plasma Power on Residual Oxygen Capture 使用等离子体增强原子层沉积生长GaN薄膜：含氨等离子体功率对残余氧捕获的影响
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期刊：International Journal of Molecular Sciences 作者：Shi-Cong Jiang; Wan-Yu Wu; Fang-Bin Ren; Chia‐Hsun Hsu; Xiaoying Zhang; et al 出版日期：2022-12-19 |
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