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 On mechanisms governing AlN and AlGaN growth rate and composition in large substrate size planetary MOVPE reactors 大衬底尺寸行星式MOVPE反应器中AlN和AlGaN生长速率和成分的控制机制
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：M. Dauelsberg; D. Brien; H. Rauf; F. Reiher; Johannes Baumgartl; et al 出版日期：2013-08-23 |
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