Effective Carbon Contaminant Cleaning Condition Using Ozone Dissolved Water and Megasonic for Ru-Capped Extreme Ultraviolet Lithography Mask - 科研通

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标题	Effective Carbon Contaminant Cleaning Condition Using Ozone Dissolved Water and Megasonic for Ru-Capped Extreme Ultraviolet Lithography Mask 钌封端极紫外光刻掩模用臭氧溶解水和兆超声有效清洁碳污染物的条件相关领域极紫外光刻紫外线碳纤维臭氧极端紫外线图层（电子）化学表面粗糙度材料科学环境化学分析化学（期刊）纳米技术光电子学复合材料光学有机化学激光器物理复合数
网址	https://doi.org/10.7567/jjap.51.096503
DOI	10.7567/jjap.51.096503 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Seungho Lee; Bong-Kyun Kang; Min-Su Kim; Jinho Ahn; Han-Ku Cho; et al 出版日期：2012-09-01
求助人	房凛在 2025-02-05 14:06:04 发布自广东，悬赏 10 积分
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