Fe-substituted silica via lattice dissolution–reprecipitation replacement for tungsten chemical mechanical planarization

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标题	Fe-substituted silica via lattice dissolution–reprecipitation replacement for tungsten chemical mechanical planarization 晶格溶解-再沉淀取代铁取代二氧化硅实现钨的化学机械平坦化相关领域化学机械平面化溶解材料科学钨拉曼光谱胶体二氧化硅化学工程泥浆扫描电子显微镜 X射线光电子能谱纳米技术冶金复合材料工程类物理光学图层（电子）涂层
网址	https://doi.org/10.1016/j.jiec.2022.04.001
DOI	10.1016/j.jiec.2022.04.001 doi
其它	期刊：Journal of Industrial and Engineering Chemistry 作者：Soho Sun; Kangchun Lee; Gang-Gyu Lee; Ye-Hwan Kim; Seong Min Kim; et al 出版日期：2022-07-01
求助人	悉尼的夜景在 2024-09-24 15:53:36 发布自天津，悬赏 10 积分
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