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Free-Standing 3C-SiC P-Type Doping by Al Ion Implantation
铝离子注入独立3C-SiC P型掺杂
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期刊:Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者:Mariaconcetta Canino; Frank Torregrosa; Marcin Zieliński; V. Boldrini; Camilla Bidini; et al 出版日期:2024-08-22 |
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