Novel multi-layer nanoimprint lithography material system enabling nano-patterning of functional optical layers

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标题	Novel multi-layer nanoimprint lithography material system enabling nano-patterning of functional optical layers 能够实现功能光学层纳米图案化的新型多层纳米压印光刻材料系统相关领域抵抗纳米压印光刻材料科学纳米- 纳米技术图层（电子）蚀刻（微加工）平版印刷术基质（水族馆）纳米光刻光电子学复合材料制作海洋学地质学病理替代医学医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3010840
DOI	10.1117/12.3010840 doi
其它	期刊：作者：Martin Messerschmidt; Mirko Lohse; Nadja Heidensohn; Susanne Gruetzner; Arne Schleunitz; et al 出版日期：2024-04-09
求助人	junc 在 2024-06-11 13:12:09 发布自江苏，悬赏 20 积分
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