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 Transfer of III-nitride epitaxial layers onto pre-patterned silicon substrates for the simple fabrication of free-standing MEMS III-氮化物外延层转移到预图案化硅衬底上用于简单制造独立式MEMS
相关领域
制作
材料科学
微电子机械系统
薄脆饼
硅
氮化硅
外延
基质（水族馆）
氮化物
光电子学
范德瓦尔斯力
谐振器
半导体
蚀刻（微加工）
纳米技术
图层（电子）
化学
有机化学
病理
替代医学
地质学
海洋学
医学
分子
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| 其它 |
期刊：Applied Physics Letters 作者：Rajat Gujrati; A.K. Kassem; Cédric Ayela; Fabrice Mathieu; Liviu Nicu; et al 出版日期：2024-03-04 |
| 求助人 | |
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