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Influence of the dose assignment and fracturing type on patterns exposed by a variable shaped e-beam writer: simulation vs experiment
剂量分配和破裂类型对可变形状电子束写入器曝光图案的影响:模拟与实验
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期刊: 作者:Varvara Brackmann; Michael Friedrich; Clyde Browning; Norbert Hanisch; Benjamin Uhlig 出版日期:2019-08-29 |
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