标题 |
[高分] Recent advances in the development and application of laser plasma X-ray and extreme ultraviolet (EUV) sources based on a gas puff target
基于气体抽吸靶的激光等离子体X射线和极紫外(EUV)源的开发和应用研究进展
相关领域
极紫外光刻
极端紫外线
等离子体
激光器
等离子体诊断
物理
辐射
光学
光电子学
材料科学
量子力学
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其它 |
期刊: 作者:Henryk Fiedorowicz 出版日期:2023-06-08 |
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