标题 |
![]() 在大尺寸硅片上沉积AlScN薄膜的研究
相关领域
薄脆饼
材料科学
纹理(宇宙学)
薄膜
基质(水族馆)
溅射
表面粗糙度
复合材料
压电
微观结构
表面光洁度
硅
沉积(地质)
光电子学
纳米技术
计算机科学
海洋学
人工智能
图像(数学)
生物
古生物学
沉积物
地质学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Thin solid films 作者:Tengda Zhao; Kai Guo 出版日期:2024-03-01 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|