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 Surface Analysis of Amorphous Carbon Thin Film for Etch Hard Mask 用于刻蚀硬掩模的非晶碳薄膜的表面分析
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期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology 作者：Kwang Pyo Kim; Wan Soo Song; Min Kyu Park; Sang Jeen Hong 出版日期：2021-03-01 |
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