Surface passivation of silicon solar cells using plasma-enhanced chemical-vapour-deposited SiN films and thin thermal SiO2/plasma SiN stacks

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标题	Surface passivation of silicon solar cells using plasma-enhanced chemical-vapour-deposited SiN films and thin thermal SiO2/plasma SiN stacks 等离子体增强化学气相沉积SiN薄膜和热SiO2/等离子体SiN薄膜对硅太阳能电池的表面钝化相关领域钝化材料科学氮化硅薄脆饼光电子学硅开路电压太阳能电池等离子体增强化学气相沉积载流子寿命热氧化晶体硅化学气相沉积制作等离子体纳米技术图层（电子）电压电气工程物理工程类病理替代医学医学量子力学
网址	https://doi.org/10.1088/0268-1242/16/3/308
DOI	10.1088/0268-1242/16/3/308 doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Jan Schmidt; Mark Kerr; Andrés Cuevas 出版日期：2001-02-15
求助人	烂瞓在 2024-08-17 17:37:29 发布，悬赏 10 积分
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