Emergence of ferroelectricity in ZrO2 thin films on TiN/Si featuring high temperature sputtering method

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标题	Emergence of ferroelectricity in ZrO2 thin films on TiN/Si featuring high temperature sputtering method TiN/Si表面高温溅射ZrO2薄膜铁电性的研究相关领域铁电性材料科学锡薄膜溅射正交晶系光电子学基质（水族馆）纳米技术电介质衍射光学冶金海洋学物理地质学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107553
DOI	10.1016/j.mssp.2023.107553 doi
求助人	跳跃饼干在 2023-08-31 09:20:40 发布自河北，悬赏 10 积分
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