Study of Tungsten-Doped Carbon Hard Mask Etch Process Using NF3/O2 Based Chemistry

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标题	Study of Tungsten-Doped Carbon Hard Mask Etch Process Using NF3/O2 Based Chemistry 基于NF3/O2化学的钨掺杂碳硬掩模刻蚀工艺研究相关领域钨材料科学化学组合化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1109/cstic61820.2024.10531997
DOI	10.1109/cstic61820.2024.10531997 doi
其它	期刊：作者：Li-Tian Xu; Li Zeng; Mengjiao Zhu; X.B. Li; Ji-Han Zhao; et al 出版日期：2024-03-17
求助人	凌风在 2025-01-05 18:06:39 发布自湖北，悬赏 10 积分
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