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 Single-Side Fabricated Pressure Sensors for IC-Foundry-Compatible, High-Yield, and Low-Cost Volume Production 用于IC铸造兼容、高产量和低成本批量生产的单边制造压力传感器
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Jiachou Wang; Xinxin Li 出版日期：2011-06-07 |
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