标题 |
Etching process prediction based on cascade recurrent neural network
基于级联递归神经网络的刻蚀过程预测
相关领域
计算机科学
级联
过程(计算)
人工神经网络
人工智能
数据挖掘
机器学习
操作系统
化学工程
工程类
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DOI | |
其它 |
期刊:Engineering Applications of Artificial Intelligence 作者:Zhenjie Yao; Ziyi Hu; Panpan Lai; Fengling Qin; Wenrui Wang; et al 出版日期:2024-11-08 |
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