Recent Advances in Aluminum Nitride (AlN) Growth by Magnetron Sputtering Techniques and Its Applications

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标题	Recent Advances in Aluminum Nitride (AlN) Growth by Magnetron Sputtering Techniques and Its Applications 磁控溅射生长氮化铝及其应用研究进展相关领域氮化物材料科学铝溅射沉积氮化铝冶金溅射高功率脉冲磁控溅射腔磁控管工程物理光电子学纳米技术薄膜工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.3390/inorganics12100264
DOI	10.3390/inorganics12100264 doi
其它	期刊：Inorganics 作者：Nabeel Ahmad Khan Jadoon; Vaigunthan Puvanenthiram; Mayada Ahmed Hassan Mosa; Ashutosh Sharma; Kaiying Wang 出版日期：2024-10-07
求助人	合适夏天在 2024-10-24 14:54:42 发布自北京，悬赏 10 积分
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