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  Heteroepitaxy Growth and Characterization of High-Quality AlN Films for Far-Ultraviolet Photodetection 用于远紫外光检测的高质量AlN薄膜的异质外延生长及表征
相关领域
材料科学
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期刊：Nanomaterials 作者：Titao Li; Yaoping Lu; Zuxin Chen 出版日期：2022-11-24 |
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