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标题
Cerium contamination on silicon carbide optics during CMP: TOF-SIMS, XPS characterization, and ReaxFF MD simulation
CMP过程中碳化硅光学器件上的铈污染：TOF-SIMS、XPS表征和ReaxFF MD模拟
相关领域
碳化硅 X射线光电子能谱 铈 污染 材料科学 表征（材料科学） 硅 雷亚克夫 化学工程 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 冶金 环境化学 分子动力学 计算化学 生态学 原子间势 工程类 生物
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.163390
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.163390 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Yongjie Li; Longxiang Li; Hongda Wei; Xingchang Li; Yiren Wang; et al
出版日期：2025-04-01
求助人
Reine 在 2025-04-29 14:01:31 发布自上海，悬赏 10 积分
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