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Dynamics of the Drying Defects Left by Residual Ultra-Pure Water Droplets on Silicon Substrate
硅衬底上残留超纯水液滴干燥缺陷的动力学
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Naser Belmiloud; Amir-Hossein Tamaddon; P. Mertens; Herbert Struyf; XiuMei Xu 出版日期:2012-01-01 |
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