Real-time prediction of material removal rate for advanced process control of chemical mechanical polishing

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标题	Real-time prediction of material removal rate for advanced process control of chemical mechanical polishing 用于化学机械抛光先进过程控制的材料去除率实时预测相关领域抛光过程（计算）过程控制化学机械平面化工艺工程材料科学机械工程冶金工程类计算机科学制造工程操作系统
网址	https://doi.org/10.1016/j.cirp.2024.04.028
DOI	10.1016/j.cirp.2024.04.028 doi
其它	期刊：CIRP annals 作者：Koji Hirano; Toshio Sato; Norikazu Suzuki 出版日期：2024-05-01
求助人	Negoluse 在 2024-06-18 09:30:40 发布自吉林，悬赏 10 积分
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