MEMS piezoelectric micro power harvester physical parameter optimization, simulation, and fabrication for extremely low frequency and low vibration level applications

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标题	MEMS piezoelectric micro power harvester physical parameter optimization, simulation, and fabrication for extremely low frequency and low vibration level applications 用于极低频和低振动水平应用的MEMS压电微功率采集器物理参数优化、模拟和制造相关领域田口方法多物理压电材料科学振动声学微电子机械系统电子工程工程类光电子学复合材料有限元法结构工程物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.mejo.2020.104894
DOI	10.1016/j.mejo.2020.104894 doi
其它	期刊：Microelectronics Journal 作者：Mohd H. S. Alrashdan 出版日期：2020-10-01
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