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 MEMS piezoelectric micro power harvester physical parameter optimization, simulation, and fabrication for extremely low frequency and low vibration level applications 用于极低频和低振动水平应用的MEMS压电微功率采集器物理参数优化、模拟和制造
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期刊：Microelectronics Journal 作者：Mohd H. S. Alrashdan 出版日期：2020-10-01 |
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