Strain investigation of PECVD passivation layer for ferroelectric domain wall random access memory

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标题	Strain investigation of PECVD passivation layer for ferroelectric domain wall random access memory 铁电畴壁随机存储器PECVD钝化层的应变研究相关领域钝化材料科学铁电性等离子体增强化学气相沉积电介质光电子学非易失性存储器图层（电子）化学气相沉积电子工程复合材料纳米技术工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2023.170767
DOI	10.1016/j.jallcom.2023.170767 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Xiaobing Hu; Hao Chen; Dongxia Tian; Xiaorong Niu; Xiaojie Chai; et al 出版日期：2023-05-29
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