标题 |
Influence of annealing conditions on the mechanical and microstructural behavior of electroplated Cu-TSV
退火条件对电镀Cu-TSV力学和显微组织行为的影响
相关领域
材料科学
粒度
模数
退火(玻璃)
复合材料
弹性模量
铜
残余应力
杨氏模量
冶金
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DOI | |
其它 |
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Chukwudi Okoro; Kris Vanstreels; Riet Labie; Ole Lühn; Bart Vandevelde; et al 出版日期:2010-03-22 |
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