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Effect of modulation period on microstructure and mechanical properties of (AlSiTiVNbCr)N/(AlSiTiVNbCr)CN nano-multilayer films
调制周期对(AlSiTiVNbCr)N/(AlSiTiVNbCr)CN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响
相关领域
材料科学 微观结构 高分辨率透射电子显微镜 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 复合材料 粒度 衍射 纳米- 弹性模量 纳米压痕 分析化学(期刊) 溅射沉积 电子衍射 选区衍射 薄膜 溅射 光学 纳米技术 化学 物理 色谱法
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DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111660 doi
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安详的若云 在 2025-01-07 19:51:12 发布自天津,悬赏 10 积分
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