The Determination of Deposition Parameters for Carbon-Based Materials in an Inductively Coupled Plasma System Using COMSOL

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标题	The Determination of Deposition Parameters for Carbon-Based Materials in an Inductively Coupled Plasma System Using COMSOL 利用COMSOL测定电感耦合等离子体系统中碳基材料的沉积参数相关领域多物理感应耦合等离子体材料科学等离子体玻尔兹曼方程电磁线圈原子物理学氩温度电子分析化学（期刊）等离子体参数等离子体模型物理化学热力学有限元法量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1109/tps.2022.3224398
DOI	10.1109/tps.2022.3224398 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Plasma Science 作者：Lionel Fabian Fourie; Lynndle Square; Christopher J. Arendse 出版日期：2022-12-01
求助人	小白在 2024-12-04 18:45:24 发布自河南，悬赏 10 积分
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