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标题
Study of electron-induced chemical transformations in model resists
模型抗蚀剂中电子诱导化学转变的研究
相关领域
抵抗 光刻胶 极紫外光刻 次级电子 极端紫外线 电子 材料科学 分析化学（期刊） 化学 原子物理学 光学 光电子学 纳米技术 物理 有机化学 激光器 图层（电子） 量子力学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2686929
DOI
10.1117/12.2686929 doi
其它 期刊：
作者：Maximillian Mueller; Terry McAfee; Patrick Naulleau; Dahyun Oh; Oleg Kostko
出版日期：2023-11-21
求助人
Heidi 在 2025-02-06 16:58:48 发布自荷兰，悬赏 20 积分
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