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标题
Kinetic simulations of plasma dynamics in the EUV sources
极紫外源中等离子体动力学的动力学模拟
相关领域
极紫外光刻 等离子体 极端紫外线 动能 物理 辐射 计算物理学 离子 激光器 光学 材料科学 核物理学 经典力学 量子力学 冶金
网址
DOI
10.1117/12.2658454 doi
其它 期刊:
作者:Kirill V. Lezhnin; Samuel Totorica; Abdullah Hyder; John Sheil; Oscar Versolato; et al
出版日期:2023-04-28
求助人
daoketuo 在 2024-11-20 17:20:41 发布自甘肃,悬赏 20 积分
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