标题 |
Kinetic simulations of plasma dynamics in the EUV sources
极紫外源中等离子体动力学的动力学模拟
相关领域
极紫外光刻
等离子体
极端紫外线
动能
物理
锡
辐射
计算物理学
离子
激光器
光学
材料科学
核物理学
经典力学
量子力学
冶金
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Kirill V. Lezhnin; Samuel Totorica; Abdullah Hyder; John Sheil; Oscar Versolato; et al 出版日期:2023-04-28 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|