A methodology and model for the pull-in parameters of electrostatic actuators

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标题	A methodology and model for the pull-in parameters of electrostatic actuators 静电致动器拉入参数的方法和模型相关领域非线性系统执行机构电容扭转（腹足类）电压静电学机械物理控制理论（社会学）工程类计算机科学电气工程控制（管理）人工智能医学外科电极量子力学
网址	https://doi.org/10.1109/84.967384
DOI	10.1109/84.967384 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Y. Nemirovsky; O. Bochobza-Degani 出版日期：2001-01-01
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