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Electron induced ionization of plasma processing gases: C4Fx(x = 1–8) and the isomers of C4F6and C4F8
等离子体处理气体的电子诱导电离:C4 Dx(x = 1-8)以及C4 F6和C4 F8的同分体
相关领域
电离
等离子体
原子物理学
电子
分析化学(期刊)
材料科学
物理
离子
化学
核物理学
色谱法
量子力学
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备注 |
只需要正版,不要草稿,草稿看着不舒服,谢谢
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DOI | |
其它 |
期刊:Journal of Physics D Applied Physics 作者:Dhanoj Gupta; Heechol Choi; Deuk-Chul Kwon; Jung‐Sik Yoon; Mi‐Young Song 出版日期:2018-02-23 |
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