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 300-nm-thick, ultralow-loss silicon nitride photonic integrated circuits by 8-in. foundry production 300纳米厚、8英寸超低损耗氮化硅光子集成电路。铸造生产
相关领域
材料科学
硅
氮化硅
光电子学
氮化物
光子学
光子集成电路
集成电路
生产（经济）
电子线路
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经济
宏观经济学
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Xuguang Zhang; Yuxin Liang; Y. Chen; Bitao Shen; Huang Jia-hui; et al 出版日期：2024-09-16 |
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