标题 |
Study on the Mechanism of Silicon Etching in HNO3-Rich HF/HNO3 Mixtures
富HF/HNO3混合物中硅腐蚀机理的研究
相关领域
硅
亚硝酸盐
蚀刻(微加工)
X射线光电子能谱
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化学
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无机化学
缓冲氧化物腐蚀
化学工程
物理化学
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色谱法
有机化学
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图层(电子)
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