Application of Cerium Oxide Nanopowders for Silicon Polishing

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标题	Application of Cerium Oxide Nanopowders for Silicon Polishing 氧化铈纳米粉体在硅抛光中的应用相关领域材料科学抛光氧化铈铈硅氧化物氧化铬化学工程冶金工程类
网址	https://doi.org/10.1134/s106378422403006x
DOI	10.1134/s106378422403006x doi
其它	期刊：Technical Physics 作者：Н. И. Чхало; А. А. Akhsakhalyan; Yu. A. Vainer; М. V. Zorina; А. Е. Пестов; et al 出版日期：2024-04-01
求助人	从容丶不解释在 2025-04-02 11:16:27 发布自广东，悬赏 10 积分
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