射频磁控溅射法制备AlF3掺杂ZnO薄膜的研究

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标题	射频磁控溅射法制备AlF3掺杂ZnO薄膜的研究相关领域材料科学结晶度微观结构电阻率和电导率兴奋剂掺杂剂薄膜溅射沉积分析化学（期刊）铝溅射矿物学复合材料光电子学纳米技术化学色谱法电气工程工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.ceramint.2011.08.007
DOI	10.1016/j.ceramint.2011.08.007 doi
求助人	nnn 在 2024-10-19 12:33:30 发布自湖北，悬赏 10 积分
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