Ferroelectric AlN ultrathin films prepared by atomic layer epitaxy

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标题	Ferroelectric AlN ultrathin films prepared by atomic layer epitaxy 原子层外延制备铁电AlN超薄膜相关领域铁电性材料科学异质结外延光电子学纤锌矿晶体结构金属有机气相外延原子层沉积退火（玻璃）氮化物图层（电子）纳米技术复合材料电介质冶金锌
网址	https://doi.org/10.1117/12.2522119
DOI	10.1117/12.2522119 doi
其它	期刊：作者：Bo‐Yen Lin; Wei-Hao Lee; Jay Shieh; Miin‐Jang Chen 出版日期：2019-03-29
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