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标题
Aqueous Developable and CO2‐Sourced Chemical Amplification Photoresist with High Performance
水性可显影CO2源高效化学放大光刻胶
相关领域
光刻胶 抵抗 极紫外光刻 材料科学 水溶液 聚合物 平版印刷术 化学工程 丙烯酸酯 紫外线 纳米技术 共聚物 高分子化学 化学 有机化学 复合材料 光电子学 图层(电子) 工程类
网址
DOI
10.1002/anie.202401850 doi
其它 期刊:Angewandte Chemie
作者:Xinyu Lu; Ruisheng Zhang; Guan‐Wen Yang; Qiang Li; Bo Li; et al
出版日期:2024-05-05
求助人
虚心盼夏 在 2025-02-04 16:09:52 发布自上海,悬赏 10 积分
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