Multi-column e-beam inspection system for advanced EUV reticles

已关闭

文献求助详情

标题	Multi-column e-beam inspection system for advanced EUV reticles 用于先进EUV标线的多列电子束检测系统相关领域十字线极紫外光刻栏（排版）计算机科学光学材料科学物理电信光电子学帧（网络）薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1117/12.3007916
DOI	10.1117/12.3007916 doi
其它	期刊：作者：Kunal Rohilla; David Aupperle; Wenxing Jiang; Seungtak Seo; Sanguk Park; et al 出版日期：2023-11-22
求助人	Henry 在 2024-11-11 19:37:04 发布自广东，悬赏 20 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

10小时前，求助关闭

Henry 求助人 Lv5 关闭了本次求助。

说明重新发布，谢谢【积分已退回】
1天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

19:37:14 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

19:37:04 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

19:37:04 已向机器人发送请求
1天前

Henry 求助人 Lv5 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 风起枫落完成签到，获得积分10

8秒前; wenhuanwenxian完成签到，获得积分10

11秒前; jiayoujijin完成签到，获得积分10

19秒前; Dingz完成签到，获得积分10

20秒前; kumo完成签到，获得积分10

22秒前; 十七完成签到，获得积分10

24秒前; 求知若渴口好干完成签到，获得积分10

31秒前; yinhe完成签到，获得积分10

37秒前; 无极2023完成签到，获得积分10

41秒前; huangzsdy完成签到，获得积分10

42秒前; 微卫星不稳定完成签到，获得积分0

46秒前; 水星完成签到，获得积分10

56秒前; 客官们帮帮忙完成签到，获得积分10

1分钟前; loren313完成签到，获得积分0

1分钟前; 陈大侠完成签到，获得积分10

1分钟前; jue完成签到，获得积分10

1分钟前; 拉长的诗蕊完成签到，获得积分10

1分钟前; 652183758完成签到，获得积分10

1分钟前; 善学以致用的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 如意的馒头完成签到，获得积分10

1分钟前; 泌尿小周完成签到，获得积分10

1分钟前; 斯文的迎松完成签到，获得积分20

1分钟前; zx完成签到，获得积分10

1分钟前; 爆米花的应助被john采纳，获得10

1分钟前; mjf111发布了新的文献求助10

2分钟前; xiaozhang完成签到，获得积分10

2分钟前; 彩色的冷梅完成签到，获得积分10

2分钟前; yii完成签到，获得积分10

2分钟前; zmx完成签到，获得积分10

2分钟前; 钟声完成签到，获得积分0

2分钟前; 又又完成签到，获得积分10

2分钟前; 爆米花上传了应助文件

2分钟前; john发布了新的文献求助10

2分钟前; 清脆安南完成签到，获得积分10

2分钟前; Lexi完成签到，获得积分10

2分钟前; HSJ完成签到，获得积分10

2分钟前; jojo665完成签到，获得积分10

3分钟前; john完成签到，获得积分10

3分钟前; hsrlbc完成签到，获得积分10

3分钟前; April完成签到，获得积分10

3分钟前