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碳化硅外延设生长设备工艺验证方法
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求助人暂未提供
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准号： SJ 21629-2021标准性质： 强制性 发布日期： 2021-12-27实施日期： 2022-03-01 发布单位： 国家国防科技工业局 主要起草人： 巩小亮; 李苹; 胡凡; 林伯奇; 龙长林; 程文进; 陈庆广; 宋秀云; 禹庆荣; 范迎新; 肖友文; 冯玲玲 起草单位： 中国电子科技集团公司第四十八研究所; 中国电子科技集团公司第四十三研究所 归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院 中国标准分类号： H83 冶金-半金属与半导体材料-化合物半导体材料 专辑： 工程科技Ⅰ辑 专题： 无机化工 总页数： 24 |
| 求助人 | |
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