Plasma silane concentration as a determining factor for the transition from amorphous to microcrystalline silicon in SiH4/H2discharges

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标题	Plasma silane concentration as a determining factor for the transition from amorphous to microcrystalline silicon in SiH4/H2discharges 等离子体硅烷浓度对SiH4/H2放电中非晶硅向微晶硅转变的影响相关领域硅烷微晶硅傅里叶变换红外光谱拉曼光谱等离子体稀释非晶硅材料科学无定形固体吸收（声学）分析化学（期刊）红外光谱学化学化学工程晶体硅结晶学物理光学复合材料有机化学热力学量子力学工程类
网址	https://doi.org/10.1088/0963-0252/16/1/011
DOI	10.1088/0963-0252/16/1/011 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：B. Strahm; A.A. Howling; L. Sansonnens; Ch. Hollenstein 出版日期：2006-11-24
求助人	雪天的阳在 2023-11-23 11:25:05 发布自安徽，悬赏 10 积分
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