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 Investigation of Etching SIC VIAS for High Power Elctronics and Harsh Enviornment Mems 用于大功率电子和恶劣环境金属的ASIC VIAS腐蚀研究
相关领域
微电子机械系统
蚀刻（微加工）
材料科学
碳化硅
反应离子刻蚀
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干法蚀刻
光电子学
硅
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复合材料
计算机科学
操作系统
图层（电子）
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