Characterization study of silicon nitride (SiN) thin-film hydrogen bonding for waveguide applications

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标题	Characterization study of silicon nitride (SiN) thin-film hydrogen bonding for waveguide applications 波导用氮化硅薄膜氢键特性研究相关领域材料科学等离子体增强化学气相沉积薄膜氮化硅硅烷拉曼光谱分析化学（期刊）硅化学气相沉积扫描电子显微镜傅里叶变换红外光谱二氧化硅光电子学纳米技术光学化学复合材料色谱法物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.2652188
DOI	10.1117/12.2652188 doi
其它	期刊：作者：Amira Galal Ahmed; Ahmed Kreta; Muhammad A. Othman; Mohamed A. Swillam 出版日期：2023-03-13
求助人	Jenaloe 在 2024-03-15 10:51:41 发布自陕西，悬赏 20 积分
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