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标题
A novel hardmask-to-substrate pattern transfer method for creating 3D, multi-level, hierarchical, high aspect-ratio structures for applications in microfluidics and cooling technologies
一种新的硬掩模到衬底图案转移方法，用于创建用于微流体和冷却技术的3D、多级、分级、高纵横比结构
相关领域
微流控 基质（水族馆） 纳米技术 计算机科学 材料科学 生物 生态学
网址
https://www.nature.com/articles/s41598-022-16281-5.pdf
DOI
10.1038/s41598-022-16281-5 doi
其它 期刊：Scientific reports
作者：Sougata Hazra; Chi Zhang; Qianying Wu; Mehdi Asheghi; Kenneth E. Goodson; et al
出版日期：2022-07-16
求助人
笑面客 在 2024-07-12 17:33:55 发布自北京，悬赏 10 积分
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