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 Optimization of inductively coupled plasma etching for distributed Bragg reflectors in vertical cavity surface emitting lasers 垂直腔面发射激光器中分布布拉格反射器的电感耦合等离子体刻蚀优化
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期刊：Vacuum 作者：Meng Xun; Guanzhong Pan; Runze Zhang; Zhuangzhuang Zhao; Yun Sun; et al 出版日期：2021-03-06 |
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