X-ray photoelectron spectroscopy characteristics of the W/TiN/Si and W/TiN/SiO2/Si structures

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标题	X-ray photoelectron spectroscopy characteristics of the W/TiN/Si and W/TiN/SiO2/Si structures W/TiN/Si和W/TiN/SiO2/Si结构的X射线光电子能谱特征相关领域锡 X射线光电子能谱氮化钛化学气相沉积材料科学钨成核分析化学（期刊）氮化物图层（电子）化学冶金化学工程纳米技术有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/0368-2048(93)80045-n
DOI	10.1016/0368-2048(93)80045-n doi
其它	期刊：Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 作者：Sunil Kumar; D. Chopra; G. C. Moore Smith 出版日期：1993-08-01
求助人	海绵宝宝电棍在 2024-09-21 15:03:11 发布自山东，悬赏 10 积分
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